2021-06-24

单流路系统

特征

◆模块化设计——缩短设计时间

根据客户 PID 图，用标准的基块、阀门（隔膜阀、单向阀、减压阀）、流量计、过滤器、压力传感器等元件，在面板上采用搭积木的方式即可完成设计。

◆表面安装——易于安装和维修

所有元件均采用符合 SEMI 标准表面安装方式（1.125"W型/C型密封、1.5”W型/C型密封），用简单的工具即可完成安装和后期的维修。

◆小型化

体积约为传统面板的 1/3，相应的流道尺寸也缩小，对沾污控制更有利。

◆316LVV材料、电解抛光工艺和轨道焊

接液部件均采用 316LVV 二次熔炼奥氏体不锈钢，流道均经过电解抛光（Ra0.13），接头处均采用轨道焊。

◆W 型/C型密封

元件与基块之间的密封均采用 W 型密封（W-seal）或者C型密封（C-seal）,都为金属硬密封，密封部位和受力部位是分离的，能够达到 的密封效果。