半導體應用-FITOK ALD 系列原子層沉積隔膜閥

高速執行下超高循環壽命
響應速度快,可在低於 5 ms 內完成閥門開啟和關閉
耐熱型延長熱應用場合的執行器壽命
全封閉閥座設計,具有優越的抗膨脹和防污染能力
Elgiloy 合金隔膜提高強度和耐腐蝕,使用壽命長
高純級 PFA 閥座,廣氾的化學兼容性
極少產生顆粒和死區,易吹掃
提供帶電感式傳感器、電磁閥組件及加熱棒和熱電偶安裝孔的閥門