企业消息
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半导体应用-FITOK ALD 系列原子层沉积隔膜阀
发布日期
2021-06-22
高速执行下超高循环寿命
响应速度快，可在低于 5 ms 内完成阀门开启和关闭
耐热型延长热应用场合的执行器寿命
全封闭阀座设计，具有优越的抗膨胀和防污染能力
Elgiloy 合金隔膜提高强度和耐腐蚀，使用寿命长
高纯级 PFA 阀座，广泛的化学兼容性
极少产生颗粒和死区，易吹扫
提供带电感式传感器、电磁阀组件及加热棒和热电偶安装孔的阀门
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