企業消息
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半導體應用-FITOK ALD 系列原子層沉積隔膜閥
發布日期
2021-06-22
高速執行下超高循環壽命
響應速度快，可在低於 5 ms 內完成閥門開啟和關閉
耐熱型延長熱應用場合的執行器壽命
全封閉閥座設計，具有優越的抗膨脹和防污染能力
Elgiloy 合金隔膜提高強度和耐腐蝕，使用壽命長
高純級 PFA 閥座，廣氾的化學兼容性
極少產生顆粒和死區，易吹掃
提供帶電感式傳感器、電磁閥組件及加熱棒和熱電偶安裝孔的閥門
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