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單流路系統
特征
◆模塊化設計——縮短設計時間
根據客戶 PID 圖，用標準的基塊、閥門（隔膜閥、單向閥、減壓閥）、流量計、過濾器、壓力傳感器等元件，在面板上採用搭積木的方式即可完成設計。
◆表面安裝——易於安裝和維修
所有元件均採用符合 SEMI 標準表面安裝方式（1.125"W型/C型密封、1.5”W型/C型密封），用簡單的工具即可完成安裝和後期的維修。
◆小型化
體積約為傳統面板的 1/3，相應的流道尺寸也縮小，對沾污控制更有利。
◆316LVV材料、電解拋光工藝和軌道焊
接液部件均採用 316LVV 二次熔煉奧氏體不鏽鋼，流道均經過電解拋光（Ra0.13），接頭處均採用軌道焊。
◆W 型/C型密封
元件與基塊之間的密封均採用 W 型密封（W-seal）或者C型密封（C-seal）,都為金屬硬密封，密封部位和受力部位是分離的，能夠達到 的密封效果。
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